Swagelok世偉洛克 ALD3 ALD6 UHP 隔膜閥-工博士湘景閥門儀表服務(wù)商
世偉洛克是半導(dǎo)體芯片制造應(yīng)用的全球技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者和解決方案提供商，同時(shí)也是 ALD 閥門技術(shù)的鼻祖。我們的 ALD 超高純 (UHP) 閥具有以下特點(diǎn)：
高速啟動(dòng)下的超高循環(huán)壽命
Cv 范圍從 0.27 至 1.7
使用熱動(dòng)元件時(shí)，全浸沒(méi)溫度高達(dá) 392°F (200°C)
適合于采用標(biāo)準(zhǔn) 316L VIM-VAR 不銹鋼閥體的 UHP 應(yīng)用
模塊化表面安裝、卡套管對(duì)焊和 VCR® 端接
電子或光學(xué)執(zhí)行機(jī)構(gòu)位置傳感選購(gòu)件
ALD 隔膜閥具有超長(zhǎng)的使用壽命、高速的啟動(dòng)和高達(dá) 0.62 的流量系數(shù)，與熱執(zhí)行機(jī)構(gòu)、位置傳感器和電磁閥配合使用，可在原子層沉積應(yīng)用場(chǎng)合實(shí)現(xiàn)較好的性能。
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